장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
Photo공정-노광기 (Mask Aligner)
모델명
OMA-1200
제작사(국가)
㈜오에프티(대한민국)
제작년도
2012
용도
생산
분류
기계가공
취득일
2012.06.15
장비설명
현상 혹은 식각공정 전 감광막의 Baking이 완료된 기판과 Mask의 Align을 통한 UV 노광처리 장비
Contact mode와 Seperation mode로 기판-마스크 거리조절 선택 가능
장비구성

성능
UV Mercury Lamp (500 W)
파장 : 250, 315, 360, 440 nm
에너지 : 25 mW/cm2 (균일도: 3.9% 이내)
Sample Chuck : 200 mmⅹ200 mm 기준
Mask Holder Size : 10 inch(Square)
Patterning Resolution : 20~30 µm
Mask Align
CCD Camera : 파장 650 nm
X-Y Sample Chuck Switch 제어
Exposure Mode : Contact & Separate
Separate depth : 100~250 µm
NTIS NO
NFEC-2013-01-173716
E-Tube NO
1206-C-0074

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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